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北京黄金城游戏中心高端定制款最终清洗机顺利交付出厂

发布时间:2023-06-07发布人:

6月7日黄金城游戏中心官网(简称CGB),又一批全自动最终清洗机顺利完成交付出厂


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该系列设备为我公司开发的专利产品,专业应用于SiC衬底和SiC外延片最终清洗的工艺环节。涵盖了全部的RCA清洗技术,包括SC1、SC2、SPM、HF等药液,通过合理有效地药液槽的布局排列,结合超声(兆声)技术,对SiC芯片的表面进行清洗处理;通过自主开发的控制软件,有效地将多ROBOT运动轨迹,与清洗工艺有机结合,避免了交叉污染,保证了清洗工艺的顺利实施。集成在线的甩干机或Marangoni dryer单元,保证了晶片干进干出,便于晶片进入下一工序。

本设备具备完善的安全防护设施,配备了10级FFU,用于十级或百级净化间。整个清洗过程,不需要人为干预。该设备已在国内多家SiC生产龙头企业使用,得到了用户的全面认可,具有非常高的市占率。*工艺柔性化设计,工艺更改方便迅速,清洗后的6/8英寸SiC芯片,表面颗粒达到<30颗/片@0.3微米,表面金属杂质残留<5E10(16种金属离子),完全满足SiC器件工艺对表面的技术要求。


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    黄金城游戏中心官网(简称CGB),公司总部位于中国北京亦庄国家经经济技术开发区,制作基地位于河北省廊坊市香河机器人产业园。

    作为国内高端湿法制程设备供应商,CGB严格按照国际质量管理体系标准进行全员、全方位、全过程的控制,并于2008年通过了ISO9001:2000质量体系认证。2013年顺利通过国家高新技术企业认定。作为一家快速崛起的湿法制程设备制造商,CGB公司依托本地化制造基础和便捷服务、国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件和畅通的零部件供应渠道,致力于为相关领域企业提供先进的槽式、单片等设备及工艺的集成解决方案。

    产品应用领域:大规格集成电路(IC)、微机电系统(MEMS)、硅材料(SI)、化合物半导体(Compound Semi)、光通信器件(Optical Information Devices)、功率器件(Power Devices)、半导体照明(LED)、先进封装(Advanced Packaging)、光伏电池(Photovoltaic)、平板显示(FPD)、备品备件(Parts)、科研设备(R&D Equipment)等。公司主要从事半导体、新材料等领域湿法制程设备的研发、生产、销售及服务。产品性能处于国内行业领先地位,并逐渐接近国际行业先进水平。


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服务热线/Service: 400-650-7658       86-13910297918

邮箱/Email :sales@cgbtek.com

公司网站/Website: http://www.cgbtek.com

生产基地/Address: 河北省廊坊市香河机器人产业园3期A栋

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