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特点：

生产主线为：腐蚀槽1、冲水槽2、轻刻槽3、冲水槽4、上下料台，共4个清洗工位。右进右出设备。本设备电器控制部分关键件均采用进口件，性能可靠，使用寿命长；及背部设有吸风口，为防止污染空气，用户需外接风管抽风。本机台是一个人机界面（触摸屏）加PLC控制的全自动控制系统，操作者只须将清洗花篮放置于上下料工位上，再由PLC控制机械手将花篮输送到各个工位，按照事先输入的程序对晶片进行各工艺处理。

清洗能力：6 inch  8inch   2 cassette / Batch     25 Pcs/cassette；

圆片厚度范围：6寸：150微米-300微米；8寸：150微米-300微米；